产品介绍
6英寸PFA cassette 高帮进口PFA材质6英寸清洗花篮为最大晶圆片提供支撑和保护作用,A194-60MB 晶圆运输盒对晶圆加工中的常用化学品都是耐受的。包括酸(盐酸,硫酸,氢氟酸和硝酸),碱(氢氧化钠,氢氧化钾,氢氧化铵,过氧化氢),醇,酮,氯化溶剂和氟利昂。 温度限制:高温晶圆高温硅片输入极限温度为290℃。连续使用极限温度120℃。 晶圆容量:25片 型号:A194-60MB 晶圆直径(mm):150mm (6英寸) 尺寸(mm): 143.38mm x 177.8mm x 171.45mm 材料:天然PFA(氟树脂)
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